位移量程1mm, 2mm, 4mm, 10mm, 15mm, 25mm等可選
重復(fù)精度最高0.1μm,多種形狀接觸頭可選
回彈式/分體式/真空抽吸式/自由跌落超輕接觸式/氣動(dòng)式等多種驅(qū)動(dòng)方式主體外徑尺寸φ8mm,可配模擬量信號(hào),數(shù)字量信號(hào)模塊和多通道測(cè)量?jī)x表測(cè)量產(chǎn)品高度、厚度、內(nèi)徑、外徑、平面度、段差、圓柱度等等
一、回彈式（彈簧自復(fù)位）位移傳感器
采用彈簧自復(fù)位驅(qū)動(dòng)方式，內(nèi)置彈簧彈力可選。具有高性能，高精度，高穩(wěn)定性等特點(diǎn)。量程1~25mm可選，重復(fù)精度高達(dá)到0.1 μm，出線方式有直出和側(cè)出等。
二、分體式（帶鐵芯連桿）位移傳感器
采用傳感器主體和鐵芯連桿分離的方式，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)直接連接鐵芯連桿。電感原理，具有高性能，高精度，高穩(wěn)定性等特點(diǎn)。量程2mm，重復(fù)精度高達(dá)到0.1μm，出線方式側(cè)出或裸線。
三、真空抽吸式位移傳感器
采用真空發(fā)生器對(duì)傳感器腔體抽吸驅(qū)動(dòng)回彈的方式，同時(shí)可以當(dāng)做常規(guī)回彈式傳感器使用。具有高性能，高精度，高穩(wěn)定性等特點(diǎn)。量程2~15mm可選，重復(fù)精度高達(dá)到0.1μm，出線方式側(cè)出
四、自由跌落超輕接觸式位移傳感器
采用垂直自由落體驅(qū)動(dòng)，無(wú)內(nèi)置彈簧。具有高性能，高精度 ，高穩(wěn)定性等特點(diǎn)。量程4mm，重復(fù)精度達(dá)到0.1μm，出線方式有直出和側(cè)出等。對(duì)于對(duì)測(cè)量力有要求的被測(cè)物體，例如玻璃，塑料，薄膜，晶片等等，可以選用超輕接觸式位移傳感器，避免對(duì)被測(cè)物體的二次傷損。
五、氣動(dòng)式位移傳感器
采用壓縮空氣充氣驅(qū)動(dòng)，泄氣自行回彈的方式。具有高性能，高精度，高穩(wěn)定性等特點(diǎn)。量程2~10mm可選，重復(fù)精度達(dá)到0.1μm，出線方式有直出和側(cè)出等。對(duì)于對(duì)測(cè)量力有要求的被測(cè)物體，例如玻璃，塑料，薄膜，晶片等等，可以選用氣動(dòng)超輕接觸式位移傳感器，避免對(duì)被測(cè)物體的二次傷損。
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